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專(zhuān)為研發(fā)設(shè)計(jì)：飛納臺(tái)式掃描電鏡

傳統(tǒng)的加工通常采用激光燒蝕來(lái)切割或銑削材料。 超高速微加工和微機(jī)械利用短脈沖激光，在微米尺度下創(chuàng)造或切割2D或3D結(jié)構(gòu)。對(duì)這些微結(jié)構(gòu)的分析需要掃描電鏡（SEM），提供高分辨率的大范圍的圖像。因?yàn)樵谑褂眯虏牧蠒r(shí)要測(cè)試的變量很多，所以在開(kāi)發(fā)過(guò)程中，需要花費(fèi)很多時(shí)間在設(shè)備中進(jìn)行掃描。很明顯，現(xiàn)場(chǎng)成像微觀(guān)結(jié)構(gòu)是必要的。在對(duì)不同系統(tǒng)的臺(tái)式掃描電鏡和相同的樣品進(jìn)行圖像評(píng)估后，Tommaso Baldacchini博士選擇了飛納臺(tái)式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版Phenom Pro，并指出它是“專(zhuān)門(mén)為研究和開(kāi)發(fā)所設(shè)計(jì)的”。

高精度微型加工結(jié)構(gòu)

創(chuàng)建微型或納米器件的傳統(tǒng)方法往往不再適用，因?yàn)槌叽缯粩嗫s小。理波（Newport）公司開(kāi)發(fā)了一種利用雙光子聚合（TPP）來(lái)制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)的激光mFAB。TPP是一種印刷技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)特征尺寸小至100 nm的聚合物微結(jié)構(gòu)的真實(shí)三維書(shū)寫(xiě)。理波（Newport）公司已將TPP應(yīng)用于之前不可能用標(biāo)準(zhǔn)制造技術(shù)制造的設(shè)備。包括微電子學(xué)，光子學(xué)和用于藥物輸送的生物醫(yī)學(xué)裝置。

這里展示了TPP創(chuàng)建的結(jié)構(gòu)的示例。TPP是*能夠在這些長(zhǎng)度范圍內(nèi)制造物體的技術(shù)。臺(tái)式掃描電鏡（SEM）是分析這些微觀(guān)結(jié)構(gòu)表面特征的*儀器。

TPP是一種增材制造工藝，通過(guò)激光誘導(dǎo)光聚合將材料添加到基材上。 激光mFAB也可以執(zhí)行消減類(lèi)型的過(guò)程，如聚合物消融。 在下面一組圖像中顯示了在納米尺度上去除材料的示例。

對(duì)于這個(gè)燒蝕樣品，使用了飛納臺(tái)式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版Phenom Pro來(lái)驗(yàn)證消融線(xiàn)是否清晰完整，是否有碎片或凸起的邊緣。超短脈沖激光器用于激光mFAB的高精度冷切割。材料聚合物和電介質(zhì)（消融）的應(yīng)用從光伏到平板顯示器有很多種。

掃描電鏡（SEM）提供了所需的景深，可以看到頂部、側(cè)面和底部。在微觀(guān)和納米尺寸上，需要用飛納臺(tái)式掃描電鏡（SEM）對(duì)消融結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像。