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為什么掃描電鏡(SEM)的束斑直徑那么重要

 發(fā)布時(shí)間:2017/12/19 點(diǎn)擊量:2612
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詳細(xì)介紹:

近年來,隨著科技的發(fā)展和材料尺寸的不斷縮小,掃描電鏡(SEM)已經(jīng)成為一種非常有價(jià)值的表征方法。SEM作為一種通用的工具,方便用戶可以對各種各樣的材料進(jìn)行多種不同類型的分析。為獲得更好的結(jié)果,用戶應(yīng)該仔細(xì)設(shè)定SEM參數(shù)。其中一個(gè)設(shè)置是束斑直徑,即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中,闡述了如何在SEM中調(diào)整束斑直徑,以及如何在高分辨率成像和大束流之間實(shí)現(xiàn)平衡,以獲得*結(jié)果。

 

如何在SEM下調(diào)整束斑直徑

 

描述SEM中電子束性質(zhì)的四個(gè)主要參數(shù)如圖1所示:

 

  1. 使電子在電鏡腔室中運(yùn)動的加速電壓
  2. 電子束的會聚角
  3. 轟擊樣品的電子束流大小
  4. 到達(dá)樣品表面的zui終束斑直徑。

 

圖1:SEM中電子束的四個(gè)主要參數(shù):加速電壓、會聚角、電子束流和束斑直徑

 

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