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掃描電鏡之EDX能譜分析的介紹

 發(fā)布時(shí)間:2017/12/5 點(diǎn)擊量:2878
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詳細(xì)介紹:

掃描電子顯微鏡(SEM)利用電子束從納米尺度的樣品中獲取信息。所檢測(cè)到的主要信號(hào)類(lèi)型是背散射電子(BSE)和二次電子(SE),它們?cè)诟弑堵氏律蓸悠返幕叶葓D像。然而,還有許多其他的電子與樣品表面物質(zhì)相互作用的產(chǎn)物——這些信號(hào)可以提供關(guān)于樣品的額外信息。在這篇博客中,我們將闡述掃描電鏡中的能譜(EDX)是如何工作的。

 

電子 —— 與樣品表面的相互作用

 

入射電子與樣品表面的物質(zhì)相互作用產(chǎn)生了各種各樣的信號(hào),這些信號(hào)攜帶了關(guān)于樣品的不同信息 (圖1)。例如,背散射電子產(chǎn)生的圖像與原子序數(shù)的差異有關(guān); 二次電子給出了形貌細(xì)節(jié)信息,陰極發(fā)光可以提供關(guān)于電子結(jié)構(gòu)和材料化學(xué)成分的信息; 透射電子可以描述樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)。在掃描電鏡中廣泛使用的另一種信號(hào)是X射線。

 

圖1:電子物質(zhì)相互作用中產(chǎn)生不同信號(hào)的例證。

 

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